光学平台高度 |
800mm |
光学台面平面度 |
≤0.05mm/m² |
光学台面粗糙度 |
≤0.8μm,台面亚光处理 |
光学平台振幅 |
1.2um |
固有频率 |
x方向:1Hz~1.7Hz y方向:1Hz~1.7Hz |
负荷承载 |
800kg/㎡ |
隔振方式 |
空气弹簧 隔振橡胶 |
水平调节方式 |
自动调平 气动元件执行 |
空气源 |
静音空气压缩机 <45dB 可外接 |
调节高度 |
±10mm |
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