固有频率 |
垂直:1-2Hz 水平:1-2Hz |
隔振方式 |
空气弹簧 隔振橡胶 |
调平方式 |
自动调平 |
阻尼方式 |
多小孔空气阻尼 |
平台高度 |
800mm |
工作压力 |
0.2~0.4MPa |
空气源 |
静音空气压缩机 <50dB |
隔振效率 |
垂直:5Hz时:82~88% ; 10Hz时:86~95% 水平:5Hz时:78~86% ; 10Hz时:84~92% |
重复定位精度 |
±0.1mm |
台板平面度 |
≤0.05mm/m² |
台板粗糙度 |
≤0.8μm,表面亚光处理 |
调节高度 |
±20mm |
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